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卓然天工PT10SR-122 型超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统,以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。该产品采用标准的旋转外螺纹/内螺纹端面密封压力接口,可满足半导体行业的要求。在制造和装配完成后,该产品还要接受去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气充注和密封等处理,确保符合进入洁净空间的要求。





• 气体工业 • 半导体生产加工 • 超高纯(UHP)气体系统