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时间：2026-10-21 浏览：次
卓然天工PT10SR-122 型超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统，以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。该产品采用标准的旋转外螺纹/内螺纹端面密封压力接口，可满足半导体行业的要求。在制造和装配完成后，该产品还要接受去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气充注和密封等处理，确保符合进入洁净空间的要求。
• 性能可靠、低漂移、安全、使用方便；
• 泄露率低，通过1×10-9 atm·cc/s 级别的氨渗漏实验；
• 1/4" 带密封面 VCR 接头，表面经ASTM A380 标准钝化处理、超声波超纯水清洗，最后采用双层防静电PE 包装，并充入高纯氮气保护；
• 坚固耐用，无故障安装
• 本质安全型产品，符合国家 GB3836.4标准Ex ia IIB T6 Ga的要求;
• 隔爆型产品， 符合国家 GB3836.2 标准Ex d IIC T6 Gb 要求。
• 气体工业 • 半导体生产加工 • 超高纯（UHP）气体系统
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